第223章  实验验证的核心挑战

    贺鹏涛身为春城光机所院士，在光刻机核心光源系统这个领域中，可以说已经奉献了小半辈子时间，要单论经验绝对称得上国内顶尖专家。

    也正因如此，他才更加清楚，研发稳定极紫外光源的复杂程度。

    作为国际上公认的高端光刻机，极紫外光源可以说是必备的东西，没有这种稳定且功率足够的光源，就无法制造更精密工艺的晶片，尽管相关理论不是绝对秘密，但关键是能不能把光源搞出来。

    而徐铭借助等离激元耦合态理论，提出了一种新的极紫外光源设想。

    相当于另辟蹊径。

    只要能完成实验验证，依旧可以获得极紫外光源。

    简单来说的话，就是原本的方法，已然被海外半导体设备公司垄断。

    导致国内这边无法实现突破。

    在这种情况下，徐铭却找到了其他道路，并且还更加高效简单，所具有的意义可想而知。

    不过贺鹏涛在今天之前，想的都是，大家先坐在一起对徐铭的设想进行完善尽可能的查漏补缺，也好减少实验的试错成本。

    毕竟从一项大胆的设想，到具体的验证结果，中间往往需要不少时间。

    但他万万没想到，看完徐铭完成的内容后，整个人直接就被震惊住，首次对真正的天才有了直观的体验。

    徐铭仅用短短几天时间，便独自完善了设想，相当于直接整了份论文出来。

    面对摆在眼前的事实，贺鹏涛回顾过往，发现以前遇到的所谓天才，和徐铭竟没有可比性，怪不得对方能在学界创造出这么多奇迹。

    「原来真正的天才是这样式的。」

    说完心中暗自感慨一句，刚准备再开口，只听耳旁又响起丁顺安的声音。

    「徐总师。」

    「你现在可是整个光刻机专项的主心骨，眼下工作才刚刚展开，必须要注意好身体，保证睡眠多休息才行啊。」

    「下回不能这么熬了。」

    丁顺安同样看出了这份文件的含金量，心里第一反应就是徐铭熬了通宵，否则实在难以想像是几天的成果。

    外界都说徐铭一个理论数学家，担任光刻机项目的总设计师是瞎胡闹，现在看来徐铭拥有的实力，要比在公众面前展现出口多的多。

    徐铭把丁顺安的话悉数听进耳中，知道对方是在关心他的身体健康。

    当即微笑著接过话茬回应。

    「多谢丁院士关心，我会注意的。」

    他这么多年，每天几乎都要学习十八个小时，其中还包括雷打不动的日常锻炼。

    虽只用了几天对设想完善，却比其他人多很多时间。

    况且在多线程并行思维演算推导下，若完不成的话那才真有问题。

    「你们年轻人身体就是好，我和老贺就不行喽。」丁顺安点点头微笑著打趣。

    贺鹏涛接话道：「我可比你还小一岁呢。」

    待互相闲谈了两句后，贺鹏涛突然面色严肃，用非常正经的语气看向徐铭，重新把话题给引到了正事上面。

    「徐总师。」

    「我这边已经准备妥当，随时可以开展实验。」

    「微电子装备也一样。」丁顺安补充道。

    徐铭听完两位院士的话，又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员，也终于不再卖关子，嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

    「那好。」

    「下面我来安排具体任务。」

    他这几天沉浸完善设想补充漏洞，正是为了能尽快验证极紫外光源。

    只要解决了最核心的光源系统，那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。

    主要高端晶片涉及到的行业实在太多，还关系著很多先进技术的更新叠代，必须用最短的时间走出困境才行。

    否则较长时间待在这空窗期内，很有可能会再次被海外拉开差距。

    尤其是六代机项目，好不容易才与海外站在起跑线。

    既然大家都没有什么意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来O

    极紫外光源被称作难以驾驭的微光，海外方面的主流技术是采用雷射激发等离子体，需要用高功率雷射，以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴，将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

    但由于过程的能量转换效率极低，要满足晶片量产所需要的曝光速度，其功率必须达到250瓦以上，这意味著输入的能量是巨大的。

    除此之外整个光路还要在真空环境中进行，使得系统复杂性大幅度上涨。

    再加上锡滴方案产生的碎屑，更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

    而徐铭的设想，则是对系统重新架构。

    相比较主流方法的动态轰击液体锡滴，他采取了静态激发的方案。

    用一束高强度和高重复频率的雷射，照射在高速旋转的光源靶盘上，如此通过等离激元耦合态理论，雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态，从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。

    不但绕过了海外的专利壁垒，还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。  

    有助于延长光源的寿命时间。

    随著徐铭同众人，在具体实验上展开讨论，原本大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。

    内心激动之下，毫不掩饰脸上浮现出的期待。

    「关于光源靶盘的制造，需要覆盖特殊薄膜，可以拜托给材料院帮忙研发。」

    「其余我没有任何意见。」

    贺鹏涛全程认真听完徐铭的所有话，待相关任务安排全部讲完之后，率先开口提出自己的观点表明态度。

    话音刚落。

    旁边的丁顺安也未沉默，立刻接过话茬附和。

    「我同意老贺的提议，交给材料院，会在很大程度上节省我们的时间。

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    「这样我们能更快进行验证。」

    徐铭对光源靶盘的材料设计早有方案，从某种程度上来说制造困难性不算太大，无非是经历多次的失败。

    本来他还想著亲自来负责光源靶盘的制造，但听完贺鹏涛和丁顺安两人的建议，顿时便觉得交给科学院旗下的材料院负责，倒也是项更加合适的办法，刚好他也能抽出时间和精力负责其他的。

    虽说科学院整合的是国内的光机所资源，但如今国产光刻机专项项目，那毫无疑问属于当前重点中的重点。

    其他研究所都要无条件配合。

    就算到时候制造不顺利，他也能再过去指点。

    思维快速运转下，徐铭没有任何迟疑，当即点头同意了这件事情。

    「可以。」

    「那么接下来大家各自开始准备吧，这次我们的核心挑战就是，在实验室组建毫米级的演示装置，将之变成能产生足够功率的极紫外光的实用光源。」

    最后郑重说完这番话，也标志著上午这场讨论会，圆满结束落下尾声。

    参加会议的每个人，可以说都是项目核心人员，因此才刚刚散会，便已经迫不及待返回工作岗位，著手开展自己被分配下来的工作。

    徐铭作为此次专项的总设计师，在微电子装备总部这边也设立了办公室。

    然就当他准备过去时，却被身后传来的声音打断。

    「徐总师，请等一下。」

    闻言他转过身望去，只见位三十出头的高个青年，正快步向他小跑过来。

    早在召开这场会议前，徐铭就抽时间，看了一遍核心成员的详细资料，对大家提前有一个了解也好更加合理的分配工作任务。

    所以仅注意到对方的身影，便认出是春城光机所的研究员潘耀。

    同时还是贺鹏涛带出来的学生。

    于是他停住脚步后，待对方走上前，当即主动开口打起招呼。

    「是潘教授啊，是对刚才的任务安排有疑问吗？」

    「当然没有疑问。」潘耀听到徐铭的话，先是猛地摇头表示否定，接著发自内心回道：「徐总师的实验规划，我佩服还来不及呢。」

    「我之前完全没想到，徐总师你在光源实验上，拥有的水准丝毫不比数学差。」

    「特别是今天文件中的内容，绝对是我见过，最完善详细的规划报告，相信我们的实验肯定能成功。」

    潘耀从最初对徐铭轻视，不太相信一位数学家，在光刻机核心光源系统上的研究水准，直到看完整个新型极紫外光源实验方案，才算是明白徐铭为何能担任总设计师。

    确实不愧能让老师和丁顺安院士，如此激动兴奋。

    尤其听完后面的任务安排，心中更加确定，这次验证实验绝对会取得成功。

    联想到国内攻克极紫外光源技术后，会对光刻机的研发带来怎么样的改变，他整个人便控制不住的振奋。

    所以这才在会议结束时，主动同徐铭搭话，来表达自己此刻的真实情感。

    说实话他能在三十出头的年纪，成为春城光机所内的正研究员，解决国产90

    纳米工艺光刻机难点，并获得院士老师的青睐欣赏，无论放在哪里都足以称得上句天才。

    而他也始终是这么认为的，哪怕嘴上不说。

    可今天他却亲身感受到了，什么才是真正的天才。

    在听徐铭讲话时，愣是有种羞愧的感觉，心里面相当过意不去。

    将潘耀的话悉数听进耳中，徐铭倒没有多想，可能是两人年龄差距不大缘故，嘴唇微动跟在后面附和了一句。

    「会的。」

    「接下来这段时间，在实验准备过程中，遇到问题的话可以随时来找我。」

    「好的徐总师。」潘耀猛地点了下头，说完也不再过多耽搁徐铭的时间。

    就这样。

    随著一场简单的讨论会，正式确定下来，关于极紫外光源的验证实验，春城光机所和微电子装备整合的，光刻机专项研究团队成员，也开始忙碌起来工作进入到正轨。

    徐铭为了方便项目的进展和研究，把自己的主要工作地点放在了办公室。

    至于燕京大学和国际数学研究中心那边，则只能暂时停止相关的工作，当相关公告在学校官网发布时，引来各级数学专业学生连连惋惜。

    表示要较长一段时间，没法听到徐教授的讲座了。  

    不过感叹归感叹，燕大学子对徐铭担任总设计师，全部是抱著支持态度。

    都希望徐铭继数学物理之后，又能带来新的惊喜。

    另外值得一提的是，许逸阳和刘驰以及李若川，针对他的构造导出平展Motivic上同调复形理论，开设了全新的数学研究课题，目标直指后年将首次评选的徐铭数学奖。

    接下来的日子里，尽管网上逐渐恢复平静，只剩下部分网友每天关注光刻机研发进度。

    但项目团队成员却是火力全开。

    哪怕徐铭每次返回燕京，也都是先去材料研究院。

    关注光源靶盘的制作情况。

    陈璐因在明年即将面临博士毕业，目前正在准备论文和答辩工作，算属于博士生涯中最忙的一段时间。

    这使得两人更多是通过电话和视频交流，互相鼓励支持共同成长进步。

    至于贺鹏涛和丁顺安两位院士，以及项目团队的其他教授研究员，也都在陆续完成所分配下来的工作，成功组建出毫米级的演示装置。

    转眼暑假结束，新一届大学生进入校园。

    当时间来到九月底，魔都微电子装备总部，实验室内验证所需的演示装置正式就位。

    可以说仅差最重要的光源靶盘，便能立刻展开实验。

    在这种情况下，徐铭自然没有闲著，直接带人来到了科学院材料研究院。

    关注光源靶盘的材料研发进度。

    「目前我们根据徐总师你的方案思路，选择在矽基圆盘上覆盖特殊薄膜，以此来保证雷射在每一个点上，都能瞬间激发出耦合态。」

    9月28日。

    科学院材料研究院实验室，光源靶盘项目负责人，主动向徐铭说明著情况。

    尽管对方的年龄要比徐铭大上很多，但在徐铭面前却像学生一样，时不时还会主动向徐铭请教相关问题。

    在接到光刻机项目团队的任务之后，他们本来可以说有著非常大的压力，生怕过程中会出现失误，无法在短时间内制造出光源靶盘，影响光刻机核心光源的研发。

    直到看见徐铭传输过来的信息，才明白原来早就完成了设计方案。


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